1、膜分离技术
膜法多元混合气体分离是20世纪80年代后期，随高分子材料技术发展而迅速发展起来的一项高新技术。等离子光氧催化一体机其作用机理是利用不同气体在高分子膜中的通过能力/扩散能力以及速度不同而实现气体分离。
气体分子在膜高压侧溶解于膜中，并在膜两侧分压差驱动下，在膜中扩散，并从低压侧脱逸。溶解/扩散利用不同组分在膜材料中溶解/扩散的速度具有很大差异，从而将各组份分离。
该技术特点是，占地和投资相对小、运行费用较低。缺点是单独应用膜分离技术通常无法将各组分完全分离，因此该技术需要与传统工艺结合使用。可以将该技术作为预处理单元使用，去除大部分的目标气体，然后辅助常规处理技术，能取得更好的效果。
2、等离子技术
等离子技术原理是利用NS级的高压脉冲电流进行放电，在常温常压环境中，获得非平衡等离子体。介质阻挡放电过程中，电子从电场中获得能量，通过碰撞将能量转化为污染物分子的内能或动能。这些获得能量的分子被激发或发生电离形成活性基团。同时空气中的氧气和水分在高能电子的作用下也可以产生大量的新生态氢、臭氧和轻基氧等活性基团。这些活性基团相互碰撞后便引起一系列复杂的物理、化学反应。光氧催化一体机从等离子体活性基团组成可以看出，等离子体内部富含极高化学活性的粒子，如电子、离子、自由基和激发态分子等。废气中的污染物质与这些具有较高能量的活性基团发生反应，最终转化为CO2和H2O等物质，从而达到净化废气的目的。
等离子技术对废气组成没有选择性，而且能量极高，几乎所有污染物分子都能从分子结构上被破坏，从而得到净化。具有较大的发展空间。
3、紫外光催化氧化技术
紫外光催化氧化技术是在光的作用下进行化学反应。反应机理是利用高能紫外光束照射，使被照射介质原本稳定的化学键受到破坏，成为游离状态的分子。同时，紫外光分解空气中的氧分子，产生游离氧。进而产生臭氧。臭氧对有机物具有极强的氧化作用，臭氧继而将游离态的污染物分子氧化成无害物质。以此减少污染物排放。
使用紫外光解处理三苯过程中，可以使用二氧化钛做光解催化剂，能加快分解速度，还可以选用光触媒、溶菌酶等多种催化剂。
虽然废气处理净化技术路线较多，但是各种处理技术均有其自身的优缺点。所以加大新兴技术的研究和使用，UV光氧除尘器在处理具体的废气过程中，应根据各种工艺特点，灵活应用。利用投资和运行成本较低的技术做预处理，利用投资较大但运行效果较理想的技术做深度处理，使尾气净化流程更加合理。这是将来处理化工废气的一个新的发展趋势。
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