供应23制作平行曝光机的原理是什么|西乡高精度平行曝光机厂家

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平行曝光机第一品牌【大川光电，黄先生，13682302959】深圳市大川光电设备有限公司于2010年研发制造出第一台UV-LED平行曝光机，经过实际测试曝光机均匀度，光线平行度、曝光能量等技术参数均优于传统贡灯光源平行曝光机。
　　
　　平行曝光机能够统成功地应用于半导体制造，它的光源是300kg，使用性强，小编来讲讲平行曝光机的特点：
　　机房要能承受500kg/m3以上重量。
　　压缩空气(C.D.A)：0.5Mpa，400nl/min
　　热排气：15m3/min
　　装置外观：本体：2000×1055×1820mm
　　真空：-0.08Mpa，60nl/min
　　制作平行曝光机的原理：在计算机的控制下，利用聚焦电子束对有机聚合物(通常称为电子抗蚀剂或光刻胶)进行曝光，受电子束辐照后的光刻胶，其物理化学性质发生变化，在一定的溶剂中形成良溶或非良溶区域，从而在抗蚀剂上形成精细图形。它可以适合于制造高密度线路板;冷光源(无红外线，有利于底片保护);高抽真空度，适合于制造细线条;4个角抽真空非常均匀;机内集成了‘故障诊断系统’;曝光室内用经100级过滤的洁净空气产生正压，有效防止灰尘进入;独立的灯源空气冷去系统。
       以上信息由高精度平行曝光机提供，希望对您有所帮助。

公司名称：深圳市大川光电设备有限公司
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